- сканирующая электронолитография
- Makarov: scan electron-beam lithography, scanning electron-beam lithography
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
сканирующая электронолитография
Смотреть что такое "сканирующая электронолитография" в других словарях:
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
